清華大學(xué)無錫應(yīng)用技術(shù)研究院集成電路創(chuàng)新服務(wù)平臺
型號：Bruker Dimension ICON
主要參數(shù):XY方向掃描范圍90um*90um,垂直方向掃描范圍10um，樣品尺寸可以達直徑210mm，厚度15mm，可持續(xù)穩(wěn)定得到原子級分辨率，智能掃描功能
用途及功能：表面形貌（粗糙度）、成分分析、具備接觸、輕敲、peakkforce等多種模式成形貌相，摩擦力圖像、定量相位圖像、表面局域電場力、磁場力、表面電勢以及導(dǎo)電性、電場力及磁力圖像、表面電勢可分辨表面兩點電勢差絕對值、分辨率10Mv,導(dǎo)電原子力顯微鏡（CAFM）可測量I/V曲線，表征表面局域?qū)щ娦?/p>
模塊功能附件: PFM EFM MAM CAFM
X射線衍射分析儀
電感耦合等離子體質(zhì)譜儀
流變儀
