儀器型號(hào):TOF.SIMS 5
廠家:德國ION-TOF GmbH
質(zhì)量范圍:大于10000原子量單位
分辨率:空間分辨率(橫向小于100納米,縱向小于1納米)
技術(shù)參數(shù):
1. 并行探測所有離子,包括有機(jī)和無機(jī)分子碎片。
2. 無限的質(zhì)量探測范圍(實(shí)際測量中大于10000原子量單位)。
3. 完全透過率下實(shí)現(xiàn)高的質(zhì)量分辨率。
4. 極高的橫向和縱向空間分辨率(橫向小于100納米,縱向小于1納米)。
5. 探測靈敏度可達(dá)ppm或ppb量級(jí)。
儀器特點(diǎn):
1. 樣品尺寸可以達(dá)到100毫米,200毫米,和300毫米。
2. 五維樣品操作臺(tái)
3. 多種可選擇離子源:鎵, 銦, 金, 鉍, 氧,銫,氬,氙,SF5, C60...
4. 對分析室樣品可加熱和冷卻控制。
5. 進(jìn)樣室可加熱/冷卻精確控溫。能測量易揮發(fā)樣品甚至液體。
6. 低溫樣品傳輸。
7. 可實(shí)現(xiàn)銫和氙的混合濺射。
8. 可實(shí)現(xiàn)單點(diǎn)成分分析,表面成分成像,深度剖析,三維分析等多種模式。
9. 采用樣品電荷補(bǔ)償,可以測量絕緣樣品。
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