清華大學(xué)無(wú)錫應(yīng)用技術(shù)研究院集成電路創(chuàng)新服務(wù)平臺(tái)
Renishaw inVia拉曼光譜
儀器參數(shù)：
激光波長(zhǎng)：473nm、532nm、632.8nm、785nm
光譜分辨率：≤0.025nm 光譜重復(fù)性：≤±0.5px-1 靈敏度：Si三階峰信噪比好于30:1
拉曼Mapping空間分辨率：橫向約1μm，縱向約2μm
原位拉曼溫度范圍：液氮溫度~600℃ 或 室溫~1500℃
應(yīng)用范圍：
1. 對(duì)粉末、塊體、液體等樣品進(jìn)行微區(qū)拉曼光譜測(cè)量，還可進(jìn)行熒光光譜測(cè)量（473nm~1000nm）；
2. 可進(jìn)行分散的多點(diǎn)、線、面掃描和共焦深度掃描，檢測(cè)樣品的成分分布、應(yīng)力分布等；
3. 可進(jìn)行溫場(chǎng)原位拉曼光譜測(cè)量；
4. 可進(jìn)行偏振拉曼光譜測(cè)量；
5. 可與原子力顯微鏡聯(lián)用，同時(shí)獲得樣品的形貌和成分信息，可以做針尖增強(qiáng)拉曼散射（TERS）。
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