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Hitachi SU8010冷場發(fā)射掃描電子顯微鏡

該儀器的主要配置及特點有：

1.超高的分辨率：15KV分辨率可達1nm；

2.優(yōu)秀的減速模式成像能力，1KV分辨率可達1.3nm；

3.日立專利的ExB設(shè)計，不需噴鍍，可以直接觀測不導(dǎo)電樣品；

4.Upper探頭可選擇接受二次電子像或背散射電子像，增加細(xì)節(jié)觀察能力；

5.可以根據(jù)樣品類型和觀測要求選擇打開或關(guān)閉減速功能，既保證分辨率又減少荷電；

6. 標(biāo)配有冷指、電子槍內(nèi)置加熱器，物鏡光闌具有自清潔功能，能長時間保持最佳工作狀態(tài)；