型號:sigma300
關鍵詞:場發(fā)射掃描、掃描電鏡、SEM、FESEM、掃描
產(chǎn)地:德國蔡司
詳細內(nèi)容:
(1)中文名稱:場發(fā)射掃描電子顯微鏡;英文名稱:FE-SEM
(2)生產(chǎn)廠商:德國卡爾·蔡司股份公司;型號:Zeiss Sigma 300
(3)主要功能及應用:高分辨率微區(qū)形貌分析及成像,結合能譜儀可進行半定量分析;被廣泛應用于材料科學(金屬材料、非金屬材料、納米材料)、冶金、生物學、醫(yī)學、半導體材料與器件、地質(zhì)勘探、病蟲害的防治、災害(火災、失效分析)鑒定、刑事偵察、寶石鑒定、工業(yè)生產(chǎn)中的產(chǎn)品質(zhì)量鑒定及生產(chǎn)工藝控制等領域。
(4)主要技術指標:
分辨率:SE:1.0nm(15kV),1.6nm(1kV)
加速電壓:20V~30kV,連續(xù)可調(diào),每檔10 V連續(xù)可調(diào),無需模式更換
電子槍:肖特基熱場發(fā)射電子槍
電子束流:最大束流不小于20 nA
放大倍數(shù):10~1000000 (底片放大倍率),根據(jù)加速電壓和工作距離的改變,放大倍數(shù)自動校準。
樣品臺移動范圍:125 mm(X方向),125 mm(Y方向),50 mm(Z方向),-10°-90°(傾斜),360°(旋轉),樣品臺移動精度:≤2μm
真空系統(tǒng):樣品室真空度:高真空模式優(yōu)于 2×10-4 Pa;
能譜儀:電制冷牛津40mm2能譜儀
數(shù)字圖像記錄系統(tǒng):圖像儲存分辨率:最大32 k×24 k像素,圖像顯示:1240×768 像素;圖像記錄:TIFF, BMP或JPEG。
(5)可測試項目:噴金、微觀形貌、能譜(點掃、線掃、面掃)
噴金:導電性差、不導電樣品需先噴金后測試
形貌:一般取2個位置,共8~10張圖片左右
能譜:元素范圍Be~U
(6)送樣要求:
需提供詳細樣品信息:樣品成分、名稱、形態(tài)、導電性、拍攝放大倍數(shù)/標尺要求、相應的參考圖
(7)收費標準聯(lián)系方式:
上一篇 無
FIB-SEM雙束電子顯微鏡 下一篇