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技術(shù)參數(shù)：

1.XY雙向程序控制掃描平臺掃描范圍：300mm；2m (XY)（可選）；

2.掃描速度：最大20mm/s（x,y）；

3. XY雙向掃描平臺掃描最小步進(jìn)/分辨率：1 μm；

4.平均曲率分辨率：2×10-5 1/m (1-sigma)；

5.中心曲率測量范圍：Minimum Concave: 2.0m，Minimum Convex: -2.0m;Maximum Concave: 50km Maximum Convex: - 50km;

6.應(yīng)力測量精度：1% 或0.32MPa;

7.中心應(yīng)力測量范圍：Minimum Concave: 0.32MPa Minimum Convex: 0.32MPa；Maximum Concave: 7.80 GPa Maximum Convex: 7.80 GPa

8.應(yīng)力測量分辨：0.32MPa;

9.平均應(yīng)力重復(fù)性：0.02MPa；

10.最大Bow測量高度：0.67mm；

11.Bow測量分辨率：30nm；

12.樣品holder兼容：50mm, 75mm, 100mm, 150mm, 200mm, and 300mm直徑樣品；

13.程序化控制掃描模式：選定區(qū)域、多點(diǎn)線性掃描、全面積掃描；

14.成像功能：樣品表面2D曲率成像，定量薄膜應(yīng)力成像分析；

15.測量功能：曲率、曲率半徑、應(yīng)力強(qiáng)度、應(yīng)力、Bow和翹曲等；

16.二維5*5激光陣列測量技術(shù)：不但可以對樣品表面進(jìn)行二維曲率成像分析；而且這種設(shè)計(jì)始終保證所有陣列的激光光點(diǎn)始終在同一頻率運(yùn)動(dòng)或掃描，從而有效的避免了外界振動(dòng)對測試結(jié)果的影響；同時(shí)大大提高了測試的分辨率；