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微納加工

DS616砂輪劃片

PC控制自動(dòng)圖像對(duì)準(zhǔn)操作模式;

加工尺寸:≤160mm×160mm或φ6″、切槽深度:≤4mm;

對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng):70x 同軸+環(huán)形照明;

速度設(shè)定范圍:0.1~400mm/s;

工作臺(tái)行程:240mm×170mm×30mm,轉(zhuǎn)動(dòng):360°任意。

可精密切割材料包括硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、氧化鋁、陶瓷、玻璃、石英、藍(lán)寶石、晶體、PCB板。


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