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微納加工

德國HEIDELBERG, DWL66+激光直寫

 

主要規(guī)格及技術(shù)指標(biāo)

直寫、制版

樣品尺寸：2英寸~7英寸；邊長50px以上小片

工作波長：405nm

最小特征尺寸：0.6μm

配0.6μm、1μm、2μm模塊

線寬均勻性： 60nm @3σ

套刻對準(zhǔn)精度：0.1μm @0.6μm模塊

直寫速度：

6mm2/minute @0.6μm模塊

150mm2/minute @1μm模塊

600mm2/minute @2μm模塊


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