清華大學(xué)無錫應(yīng)用技術(shù)研究院集成電路創(chuàng)新服務(wù)平臺
儀器型號：TOF.SIMS 5
廠家：德國ION-TOF GmbH
質(zhì)量范圍：大于10000原子量單位
分辨率：空間分辨率（橫向小于100納米，縱向小于1納米）
技術(shù)參數(shù)：
1. 并行探測所有離子，包括有機(jī)和無機(jī)分子碎片。
2. 無限的質(zhì)量探測范圍（實(shí)際測量中大于10000原子量單位）。
3. 完全透過率下實(shí)現(xiàn)高的質(zhì)量分辨率。
4. 極高的橫向和縱向空間分辨率（橫向小于100納米，縱向小于1納米）。
5. 探測靈敏度可達(dá)ppm或ppb量級。
儀器特點(diǎn)：
1. 樣品尺寸可以達(dá)到100毫米，200毫米，和300毫米。
2. 五維樣品操作臺
3. 多種可選擇離子源：鎵, 銦, 金, 鉍, 氧，銫，氬，氙，SF5, C60...
4. 對分析室樣品可加熱和冷卻控制。
5. 進(jìn)樣室可加熱/冷卻精確控溫。能測量易揮發(fā)樣品甚至液體。
6. 低溫樣品傳輸。
7. 可實(shí)現(xiàn)銫和氙的混合濺射。
8. 可實(shí)現(xiàn)單點(diǎn)成分分析，表面成分成像，深度剖析，三維分析等多種模式。
9. 采用樣品電荷補(bǔ)償，可以測量絕緣樣品。
X射線衍射分析儀
電感耦合等離子體質(zhì)譜儀
流變儀
