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半導(dǎo)體外延檢測

Renishaw inVia拉曼光譜

儀器參數(shù):

激光波長:473nm、532nm、632.8nm、785nm

光譜分辨率:≤0.025nm 光譜重復(fù)性:≤±0.5px-1 靈敏度:Si三階峰信噪比好于30:1

拉曼Mapping空間分辨率:橫向約1μm,縱向約2μm

原位拉曼溫度范圍:液氮溫度~600℃ 或 室溫~1500℃


應(yīng)用范圍:

1. 對粉末、塊體、液體等樣品進(jìn)行微區(qū)拉曼光譜測量,還可進(jìn)行熒光光譜測量(473nm~1000nm);

2. 可進(jìn)行分散的多點、線、面掃描和共焦深度掃描,檢測樣品的成分分布、應(yīng)力分布等;

3. 可進(jìn)行溫場原位拉曼光譜測量;

4. 可進(jìn)行偏振拉曼光譜測量;

5. 可與原子力顯微鏡聯(lián)用,同時獲得樣品的形貌和成分信息,可以做針尖增強(qiáng)拉曼散射(TERS)。