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半導(dǎo)體外延檢測

1.性能指標(biāo):

 

(1)光學(xué)系統(tǒng)結(jié)構(gòu):L型

 

(2)光譜范圍:230-870nm

 

(3)光源:*450W除臭氧氙燈(集成式電源),可以顯示功率、電壓、電流和使用時間。

 

(4)*信噪比:30,000:1,水拉曼峰測試,激發(fā)波長350nm,狹縫5nm,積分時間1s。計算公式為S/N=(I397-I450)/I4501/2

 

(5)激發(fā)單色器

 

類型:Czerny-Turner

 

*三光柵塔輪結(jié)構(gòu),全軟件控制轉(zhuǎn)動;

 

三個光源入口

 

*焦距:325mm

 

雜散光抑止:1:105

 

光柵1800gr/mm,250nm閃耀波長

 

線色散系數(shù):1.7nm/mm

 

分辨率:0-30nm

 

波長準(zhǔn)確度:±0.2nm

 

波長重復(fù)性:±0.1nm

 

最小步進(jìn):0.01nm

 

*內(nèi)置電動濾光片消除高級衍射光

 

(6)發(fā)射單色器

 

類型:Czerny-Turner

 

*三光柵塔輪結(jié)構(gòu),全軟件控制轉(zhuǎn)動

 

兩個檢測器出口

 

*焦距:325mm

 

雜散光抑止比:≥105:1

 

光柵1800gr/mm,500nm閃耀波長

 

線色散系數(shù):1.7nm/mm

 

分辨率:0-30nm

 

波長準(zhǔn)確度:±0.2nm

 

波長重復(fù)性:±0.1nm

 

最小步進(jìn):0.01nm

 

*內(nèi)置電動濾光片消除高級衍射光

 

(7)檢測器

 

標(biāo)配紅敏光電倍增管

 

半導(dǎo)體制冷模塊,工作溫度-20℃

 

*暗噪聲<100cps(-20℃)

 

光譜范圍:200-870nm

 

(8)*六方形大樣品倉(大于40L),計算機(jī)自動控制的激發(fā)側(cè)衰減片

 

(9)樣品室內(nèi)包含液體石英皿支架及帶有溫度傳感器的循環(huán)水出入口

 

(10)*樣品倉內(nèi)標(biāo)配用于保護(hù)探測器的快門開關(guān);計算機(jī)控制的信號衰減器

 

(11)*一套軟件完成穩(wěn)態(tài)、瞬態(tài)光譜測量以及數(shù)據(jù)分析,無需不同軟件之間切換

 

2.主要應(yīng)用:

 

可以用于液體樣品測試,熒光激發(fā)和發(fā)射光譜,動力學(xué)掃描,三維光譜掃描,同步熒光掃描,還可用于固體(粉末、片狀、薄膜)等樣品測試,配有水浴恒溫單池支架(溫控范圍5°-60°),可進(jìn)行動力學(xué)測試。


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