儀器功能:可測量多晶硅/單晶硅絨面表面單層(二層或多層)減反射膜、和玻璃/有機基底上的薄膜太陽能電池。
技術(shù)指標:光源:氙燈
光斑直徑:1-3mm
入射角范圍:20°到90°,5°/步
波長范圍:350-850nm, 250-1100nm, 250-1700nm:0.002°~ 0.02°
波長精度:1nm
測量時間: < 8s (取決于測量模式和粗糙度)
樣品尺寸: 125x125mm 156x156mm,200x200mm電池片, 其它尺寸
測量精度:0.02nm
折射率:0.0002, 100nmSiO2 on Si
厚度測量范圍:0.01nm ~ 50um
消光比:10-6
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