清華大學無錫應用技術(shù)研究院集成電路創(chuàng)新服務平臺
儀器型號：瑞士ARL公司X'TRA
儀器功能及附件: 高溫裝置： 室溫-1500℃；低溫裝置： -190-300℃；薄膜裝置 晶粒度、結(jié)晶度、晶格結(jié)構(gòu)指標化、物相檢索、定量分析計算等。
儀器使用范圍: X射線衍射是研究物質(zhì)微觀結(jié)構(gòu)的重要手段之一。廣泛應用于物理學、化學、地學、藥學、冶金學、高分子科學、環(huán)保、考古、生命科學以及材料科學等?？梢苑治稣惩恋V物、合金、陶瓷、食品、藥物、生物材料、建筑材料、高分子材料、半導體材料，超導材料、納米材料，超晶格材料和磁性材料等物相和晶體結(jié)構(gòu)，材料可以是單晶體、多晶體、纖維、薄膜等片狀、塊狀、粉末狀等各種固體。
X射線衍射分析儀
電感耦合等離子體質(zhì)譜儀
流變儀
