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材料分析檢測(cè)業(yè)務(wù)

規(guī)格型號(hào)ContourGT-Ku

 

生產(chǎn)公司德國(guó)BRUKER公司

 

[主要參數(shù)]

 

1.雙LED光源(白光和綠光)中

 

2. 最大垂直測(cè)里范圍:10mm

 

3. 垂直分辨率:<0.01nmRa

 

4. RMS重現(xiàn)性: 0.01nm

 

5.垂直掃描速度:可達(dá)47微米秒

 

6.橫向分辨率: 0.38 ume

 

7.傾斜調(diào)制范圍: +6° (Tp/Tilt)

 

8. 視場(chǎng)范圍: 8.24mm至0.05mm

 

9. 臺(tái)階測(cè)試精度: 0.75%樣品臺(tái)

 

10.移動(dòng)范圍: 150mm(XY 軸)100rm(Z軸);

 

11.反射率范圍: 0.05%至100%

 

12.視場(chǎng)范圍:從0.1mmx 0.07mm至1 9mmx 1.5mm

 

13.像素點(diǎn): 1280x960

 

14.最小采樣間距: 0.08um

 

15.物鏡: 2.5X,10X 50XJ

 

[應(yīng)用范圍]

 

1.可對(duì)樣品的表面進(jìn)行三維形貌成像,可測(cè)里樣品表面的各種尺寸;

 

2.可以獲得表面形貌、粗糙度、三維輪廓等精準(zhǔn)數(shù)據(jù)。