規(guī)格型號(hào)ContourGT-Ku
生產(chǎn)公司德國(guó)BRUKER公司
[主要參數(shù)]
1.雙LED光源(白光和綠光)中
2. 最大垂直測(cè)里范圍:10mm
3. 垂直分辨率:<0.01nmRa
4. RMS重現(xiàn)性: 0.01nm
5.垂直掃描速度:可達(dá)47微米秒
6.橫向分辨率: 0.38 ume
7.傾斜調(diào)制范圍: +6° (Tp/Tilt)
8. 視場(chǎng)范圍: 8.24mm至0.05mm
9. 臺(tái)階測(cè)試精度: 0.75%樣品臺(tái)
10.移動(dòng)范圍: 150mm(XY 軸)100rm(Z軸);
11.反射率范圍: 0.05%至100%
12.視場(chǎng)范圍:從0.1mmx 0.07mm至1 9mmx 1.5mm
13.像素點(diǎn): 1280x960
14.最小采樣間距: 0.08um
15.物鏡: 2.5X,10X 50XJ
[應(yīng)用范圍]
1.可對(duì)樣品的表面進(jìn)行三維形貌成像,可測(cè)里樣品表面的各種尺寸;
2.可以獲得表面形貌、粗糙度、三維輪廓等精準(zhǔn)數(shù)據(jù)。
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