ASTRUM 高分辨輝光放電質(zhì)譜儀
AstruM高分辨率輝光放電質(zhì)譜儀是分析高純物質(zhì)雜質(zhì)元素的低級儀器,廣泛的得到高純金屬,半導(dǎo)體,光伏產(chǎn)業(yè),鋼鐵等等行業(yè)的認(rèn)可,檢測的極限可以達(dá)到固體含量的ppt水平,支持無標(biāo)準(zhǔn)分析,低溫樣品池設(shè)計,低熔點的金屬。
高分辨率輝光放電質(zhì)譜儀主要用于高純材料的雜質(zhì)分析,例如高純Si,As, Ge, Cu, Ga, Nb, Ta, 稀土等等,還有陶瓷,玻璃,功能材料等等,是半導(dǎo)體行業(yè),材料行業(yè),冶金行業(yè),等等不可缺少的儀器
技術(shù)參數(shù):
連續(xù)可調(diào)高分辨率
<1cps的背景
主要特點:
連續(xù)可調(diào)高分辨率
低背景,包括低質(zhì)量數(shù)端的背景
針狀,片狀樣品
高靈敏度,低檢測限連續(xù)
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