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失效分析

1. 檢測陶瓷或封閉的電子部件中氣體含量。

2. 檢測的范圍是1~512原子量。

包含十萬余種標準物質(zhì)氣體。

3. 其幾種主要氣氛(如水汽、氮氣、氧氣、氬氣、氫氣、二氧化碳等)的準確度在5%以內(nèi)。

4. 具有較高檢測靈敏度,水汽達到100ppm,其余氣氛達到10ppm。

5. 針尖:150um;4mm*2mm;

應(yīng)用

驗證封裝工藝是否按照預期設(shè)計要求進行相應(yīng)氣體成份封裝;防止有害氣氛比例過高(如水汽)導致器件失效