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電鏡技術(shù)

GATAN第二代精密刻蝕鍍膜儀（PECS Ⅱ）

GATAN第二代精密刻蝕鍍膜儀（PECS Ⅱ）是一款桌面型寬束氬離子拋光、鍍膜及膜厚測量設(shè)備。對于同一個(gè)樣品，可在同一真空環(huán)境下完成拋光及鍍膜。設(shè)備采用兩個(gè)寬束氬離子源對樣品表面進(jìn)行拋光，去除損傷層，從而得到高質(zhì)量樣品。用于SEM、光鏡或者掃描探針顯微鏡進(jìn)行成像。

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