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微納加工

MSP-3200T磁控濺射鍍膜

 

設(shè)備可在片狀或類似形狀樣品表面鍍制各種金屬、非金屬、化合物等薄膜材料。如Al、Au、Pt、Cr、Ti、Ni、Cu、NiCr、TiW、W、SiO2、Al2O3、TaN、ITO、AZO等。

 

應(yīng)用領(lǐng)域:

 

微電子、光電子、通訊、微機(jī)械、新材料、新能源等。

 

主要用于濺射各類金屬和氧化物薄膜;

 

本設(shè)備有兩個相互獨立的腔室,可分別用于濺射金屬和非金屬類薄膜,每個腔室可以放置三塊不同的靶材;


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